Les dépôts chimiques complexes et les températures élevées entraînent l'évolution des solutions d'étanchéité pour la SubFab/pompe à vide

La SubFab est essentielle au maintien de l'efficacité opérationnelle de l'environnement de la salle blanche qui la surplombe. Au fur et à mesure que les wafers subissent divers processus, notamment la gravure et le dépôt, les gaz effluents, tels que les produits inflammables, oxydants et corrosifs, sont acheminés par des conduites d'échappement vers la SubFab pour y être éliminés en toute sécurité.

Les gaz circulant dans la SubFab se condensent dans les conduites d'échappement, ce qui peut entraîner le dépôt de particules et une défaillance prématurée de l'équipement. Les systèmes de gestion thermique sont utilisés pour augmenter les températures dans les lignes d'échappement afin de maintenir les molécules de gaz en mouvement. La migration vers des températures plus élevées pour éviter la condensation accroît le besoin en joints d'étanchéité fiables dans les équipements, y compris les pompes, les unités de réduction et les vannes.

La sélection du matériau d'étanchéité doit tenir compte de la résistance à la température et aux dépôts chimiques des gaz hautement réactifs et des espèces radicalaires. Le choix ou l'installation d'un matériau inapproprié dans une application SubFab peut compromettre l'intégrité du joint d'étanchéité et entraîner un événement de maintenance imprévu susceptible d'affecter la production dans la salle blanche qui la surplombe.

Dans la SubFab, les élastomères sont souvent choisis comme matériau d'étanchéité. Les joints élastomériques sont flexibles, durables, faciles à installer et s'adaptent bien à une variété de surfaces. Les élastomères fluorés, y compris les FKM et FFKM, sont souvent choisis comme matériaux d'étanchéité pour la SubFab.

Les FKM à usage général se caractérisent par une bonne compatibilité chimique et des capacités à haute température. Avec l'innovation technologique, les conditions de fabrication deviennent plus agressives et repoussent les limites des FKM à usage général dans le SubFab. Le Fusion® F10 haute performance de Greene Tweed est un matériau en élastomère hautement fluoré conçu spécifiquement pour l'industrie des semi-conducteurs, qui prolonge la durée de vie du joint au moment où les autres FKM commencent à se dégrader

Les dépôts chimiques émergents et réactifs, tels que ceux que l'on trouve dans les procédés ALD et epi SiGe, ont une probabilité plus élevée de condensation et nécessitent des systèmes de gestion thermique qui augmentent les températures dans les lignes d'entrée et d'échappement pour empêcher les gaz de déposer des particules sur l'équipement. En raison de l'augmentation des températures dans ces lignes, de nombreux fabricants de dispositifs de premier plan ont opté pour les FFKM, tels que Chemraz® SFX, afin de garantir la sécurité et le temps de fonctionnement des outils.

Le Chemraz® SFX pouvant garantir un rendement optimal à des températures de fonctionnement plus élevées (jusqu'à 300°C/572°F) et une résistance chimique supérieure à celle des FKM, son adoption permet de garantir la compatibilité à long terme. L'expérience sur le terrain a démontré la résistance chimique d'une gamme d'effluents de la SubFab dans ces plages de température, et l'analyse interne de Greene Tweed a montré que le SFX offre une protection supplémentaire contre l'interaction chimique en ligne en limitant l'inclusion d'humidité et d'oxygène.

S'assurer que le bon joint torique est correctement installé dans l'assemblage du raccord KF minimise les risques de défaillance prématurée. Contrairement aux autres matériaux couramment utilisés dans la SubFab qui sont généralement de couleur noire, le Chemraz® SFX est gris et F10 est crème, ce qui les rend plus faciles à distinguer des autres matériaux et réduit le risque d'installer le mauvais matériau.

En outre, l'avantage des performances du Chemraz® SFX dans des conditions difficiles repose sur la conception innovante de son joint. L'assemblage sur mesure de Greene Tweed permet de surmonter les limites mécaniques des raccords KF dans les environnements de process extrêmes et d'améliorer les performances du joint. L'assemblage sur mesure est disponible pour différents matériaux, notamment l'acier inoxydable, l'aluminium et le PTFE. Les solutions Chemraz® SFX sont proposées dans un assemblage de couleur verte comme garantie supplémentaire pour s'assurer que le matériau et le joint d'étanchéité appropriés sont utilisés.

S'appuyant sur un grand éventail de matériaux élastomériques, comprenant des composés à usage général et à haute performance, et sur une expertise dans l'industrie des semi-conducteurs, les ingénieurs de Greene Tweed évaluent soigneusement chaque application et recommandent le matériau le mieux adapté, garantissant ainsi un coût total de possession supérieur.

Veuillez contacter Greene Tweed pour savoir laquelle des solutions d'étanchéité, Chemraz® SFX ou Fusion® F10 peut répondre à vos besoins en matière de SubFab.

 

VOUS AIMEREZ LIRE AUSSI